[实用新型]一种抛光机用修正轮有效
| 申请号： | 201620227482.9 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN205520954U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈时兴;丁国平;唐新桂 | 申请（专利权）人： | 嘉兴百盛光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B53/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314009 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光机用修正轮，包括球墨铸铁轮体和金刚石磨片，轮体的中间设有轴孔，轮体的外缘设有轮齿，六个金刚石磨片间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元。其通过优化结构，可对用于抛光晶片工艺上的抛光革盘面进行效果极佳的修整，保证修整后的盘面平整度好，修整效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 修正 | ||
【主权项】：
一种抛光机用修正轮，其特征是：包括球墨铸铁轮体(1)和金刚石磨片(2)，轮体(1)的中间设有轴孔(3)，轮体(1)的外缘设有轮齿(4)，六个金刚石磨片(2)间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体(1)的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元。
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