[实用新型]一种光学元件表面损伤阈值测试系统有效

专利信息
申请号: 201620225832.8 申请日: 2016-03-23
公开(公告)号: CN205404436U 公开(公告)日: 2016-07-27
发明(设计)人: 周信达;丁磊;郑垠波;巴荣声;袁静;姜宏振;徐宏磊;张霖;李东;杨一;杨晓瑜;陈波;柴立群;郑万国 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 徐金琼
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种光学元件表面损伤阈值测试系统,涉及光学检测领域,包括按光路依次放置的激光器、液晶光阀、光束分束器、透镜一、测试样品、吸收陷阱、直视CCD、反光镜、能量卡计、透镜二和监视CCD,由激光器发出的激光束,经液晶光阀整形后到达光束分束器,光束分束器透射方向的激光经过透镜一汇聚到测试样品表面,经过测试样品的激光经过吸收陷阱到达直视CCD,光束分束器反射方向的激光经过反光镜,反光镜反射方向的激光到达透镜二最后汇聚到监视CCD,反光镜透视方向的激光到达能量卡计,本实用新型具有结构简单、使用方便、便于开发应用及提高了损伤阈值测试精度的优点。
搜索关键词: 一种 光学 元件 表面 损伤 阈值 测试 系统
【主权项】:
一种光学元件表面损伤阈值测试系统,包括按光路依次放置的激光器(1)、液晶光阀(2)、光束分束器(3)、透镜一(4)、测试样品(5)、吸收陷阱(6)、直视CCD(7)、反光镜(8)、能量卡计(9)、透镜二(10)和监视CCD(11),其特征在于,由激光器(1)发出的激光束,经液晶光阀(2)整形后到达光束分束器(3),光束分束器(3)透射方向的激光经过透镜一(4)汇聚到测试样品(5)表面,经过测试样品(5)的激光经过吸收陷阱(6)到达直视CCD(7),光束分束器(3)反射方向的激光经过反光镜(8),反光镜(8)反射方向的激光到达透镜二(10)最后汇聚到监视CCD(11),反光镜(8)透视方向的激光到达能量卡计(9)。
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