[实用新型]一种制备金刚石涂层的设备有效
| 申请号： | 201620158230.5 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN205398722U | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 滕守斌 | 申请（专利权）人： | 上海科弦精密工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201619 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种制备金刚石涂层的设备，其包括底座和罩扣于所述底座上的钟罩以及真空泵，所述底座和所述钟罩之间形成一反应腔，一反应气体输送管贯穿所述底座通向所述反应腔内，所述底座上设有样品台，所述样品台上方布设有热丝，所述热丝连通有热丝电源，所述样品台与所述底座之间设有样品台冷却装置，本实用新型设备具有结构简单、涂层效果理想、被涂覆的产品使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 金刚石 涂层 设备 | ||
【主权项】：
一种制备金刚石涂层的设备，其特征在于：其包括底座和罩扣于所述底座上的钟罩以及真空泵，所述底座和所述钟罩之间形成一反应腔，一反应气体输送管贯穿所述底座通向所述反应腔内，所述底座上设有样品台，所述样品台上方布设有热丝，所述热丝连通有热丝电源，所述样品台与所述底座之间设有样品台冷却装置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
