[实用新型]基板检测装置有效
| 申请号： | 201620116150.3 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN205483057U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吴茂祥 | 申请（专利权）人： | 吴茂祥 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 张爱群 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种基板检测装置，包括：一机台，定义有一X轴向及一Y轴向，并界定一检测区；至少一载台，设于该机台，可沿该X轴向朝该检测区移动；至少一取料手臂，可活动地设于该机台；一取像机构，包括至少一取像头，该取像头可沿一XY平面朝该检测区移动；一检测模组，可活动地设于该机台；其中，该至少一取料手臂供取一基板至该载台，该载台供将该基板载送至该检测区，该至少一取像头供移至该检测区以对承载于一该载台上的该基板取像，该检测模组供检测承载于一该载台上的该基板。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，它包括：一机台，定义有一X轴向及一Y轴向，并界定一检测区；至少一载台，设于该机台，可沿该X轴向朝该检测区移动；至少一取料手臂，可活动地设于该机台；一取像机构，包括至少一取像头，该取像头可沿一XY平面朝该检测区移动；一检测模组，可活动地设于该机台；其中，该至少一取料手臂供取一基板至该载台，该载台供将该基板载送至该检测区，该至少一取像头供移至该检测区以对承载于一该载台上的该基板取像，该检测模组供检测承载于一该载台上的该基板。
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