[实用新型]一种安全高效的配气系统有效
申请号: | 201620104489.1 | 申请日: | 2016-02-02 |
公开(公告)号: | CN205331808U | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 陈艳珊;吴志鹏;廖恒易;张观海 | 申请(专利权)人: | 广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司;郴州湘能半导体气体有限公司;江门市新会特种气体研究所有限公司 |
主分类号: | F17D1/04 | 分类号: | F17D1/04;F17D3/01 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;林波 |
地址: | 528225 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种安全高效的配气系统,设置有功能部,所述功能部包括气体管道、真空管道、排空管道、进气阀门、充气阀门、真空阀门、排空阀门、抽真空机和尾气处理器;所述气体管道设置有进气端和出气端,所述真空管道和排空管道的一端分别连通所述气体管道的中部,所述排空管道的另一端设置有所述尾气处理器,所述抽真空机设置于所述真空管道的另一端的近端部,所述真空管道的另一端连通所述尾气处理器;所述气体管道的进气端和出气端分别设置有进气阀门和充气阀门,所述真空管道和排空管道的一端分别设置有真空阀门和排空阀门。 | ||
搜索关键词: | 一种 安全 高效 系统 | ||
【主权项】:
一种安全高效的配气系统,其特征在于:设置有功能部,所述功能部包括气体管道、真空管道、排空管道、进气阀门、充气阀门、真空阀门、排空阀门、抽真空机和尾气处理器;所述气体管道设置有进气端和出气端,所述真空管道和排空管道的一端分别连通所述气体管道的中部,所述排空管道的另一端设置有所述尾气处理器,所述抽真空机设置于所述真空管道的另一端的近端部,所述真空管道的另一端连通所述尾气处理器;所述气体管道的进气端和出气端分别设置有进气阀门和充气阀门,所述真空管道和排空管道的一端分别设置有真空阀门和排空阀门。
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