[实用新型]一种陶瓷盘高速甩干清洁置具有效
| 申请号： | 201620084051.1 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN205482122U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 楚玉环 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;B08B3/00 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 张春霞;贾琦 |
| 地址： | 266114 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 为解决蓝宝石晶片加工过程中，陶瓷盘表面残留的水分问题，本实用新型提供了一种陶瓷盘高速甩干清洁置具，属于蓝宝石晶片加工技术设备领域，本实用新型包括容器，所述容器内固定设置一旋转装置，所述旋转装置上设置一托盘。还包括一流液管，所述流液管设置于容器上方。本实用新型通过设置高速旋转装置，使陶瓷盘在高速旋转装置的带动下高速甩干，经过甩干后的陶瓷盘表面干燥，陶瓷盘上的晶片表面无水分，甩干前流液管内清洗剂的导入，提高了晶片表面的洁净程度，保证下一步晶片测量工作的数据准确性。本实用新型结构简单，高效实用，完美的解决了晶片表面水分问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 高速 清洁 | ||
【主权项】：
一种陶瓷盘高速甩干清洁置具，用于甩干清洁盛放晶片的陶瓷盘（1），其特征在于：包括容器（2），所述容器（2）内固定设置一旋转装置（3），所述旋转装置（3）上设置一托盘（4）。
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