[实用新型]一种多晶制绒设备进液系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶制绒设备进液系统，包括储液槽、泵浦、制绒反应槽和设置于制绒反应槽内的滚轮与进液管，所述进液管上设有多排进液孔和单排进液孔，所述多排进液孔和单排进液孔按一定间距交错排布。本实用新型提供的多晶制绒设备进液系统，有效改善了反应槽内药液浓度和温度的均匀性，确保硅片在反应时各区域的浓度和温度趋于一致，保证硅片绒面的一致性，从而解决批量生产时的色差问题。

主权项

一种多晶制绒设备进液系统，包括制绒反应槽和设置于制绒反应槽内的进液管，其特征在于：所述进液管上设有多排进液孔和单排进液孔，所述多排进液孔和单排进液孔按一定间距交错排布。