[发明专利]一种石墨基材上的耐高温类金刚石涂层方法

摘要

本发明公开了一种石墨基材上的耐高温类金刚石涂层方法，包括下列步骤：超声波清洗步骤：对石墨基材表面进行超声波清洗；离子刻蚀步骤：将石墨基材放入镀膜腔体，将所述镀膜腔体抽真空至6.0×10^‑3Pa，对所述石墨基材表面进行离子刻蚀；底层镀膜步骤：将所述镀膜腔体抽真空至2.66×10^‑3Pa，对所述石墨基材进行底层镀膜，底层镀膜得到的底层为SiC层，AlTi层、AlTiN层、Si层或SiN层中的一种；功能层镀膜步骤：在所述底层表面进行功能层镀膜，得到的功能层为含氢或不含氢的类金刚石层或者金属掺杂的类金刚石层；取料步骤：对所述镀膜腔体泄真空，取出样品。其技术效果是：使得类金刚石薄膜镀于石墨基材上后，能在的600～900℃无氧环境下，对石墨基材起到保护作用。

主权项

1.一种石墨基材上的耐高温类金刚石涂层方法，包括下列步骤：超声波清洗步骤：对石墨基材表面进行超声波清洗；离子刻蚀步骤：将石墨基材放入镀膜腔体，将所述镀膜腔体抽真空至6.0×10^‑3Pa，对所述石墨基材表面进行离子刻蚀；底层镀膜步骤：将所述镀膜腔体抽真空至2.66×10^‑3Pa，对所述石墨基材进行底层镀膜，底层镀膜得到的底层为SiC层、 AlTi层、AlTiN层、Si层或SiN层中的一种；功能层镀膜步骤：在所述底层表面进行功能层镀膜，得到的功能层为含氢或不含氢的类金刚石层或者金属掺杂的类金刚石层，其中，采取的工艺为过滤阴极真空沉积镀膜工艺；取料步骤：对所述镀膜腔体泄真空，取出样品，离子刻蚀步骤、底层镀膜步骤和功能层镀膜步骤在同一台镀膜设备内进行；该镀膜设备包括镀膜腔体，所述镀膜腔体内设有转架；围绕所述镀膜腔体的圆周，依次设有第二弯管连接口、第一弯管连接口、第三弯管连接口、第四弯管连接口、第六弯管连接口和第五弯管连接口，所述第三弯管连接口和所述第四弯管连接口之间相差一个用于安装真空泵的工位；所述第一至第六弯管连接口对应通过第一至第六磁过滤弯管连接对应的真空电弧镀膜源，所述第一至第六磁过滤弯管上均缠绕励磁线圈；所述第一磁过滤弯管、所述第二磁过滤弯管和所述第四磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向不同于所述第三磁过滤弯管、所述第五磁过滤弯管和所述第六磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向；所述第一弯管连接口和所述第六弯管连接口的水平高度，所述第三弯管连接口和所述第四弯管连接口的水平高度，以及所述第二弯管连接口和所述第五弯管连接口的水平高度，均是不同的。