[发明专利]一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法有效
申请号: | 201611247147.6 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN106645375B | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 李祥友;李嘉铭;郭连波;曾晓雁;陆永枫;郝中骐;周冉;唐云;易荣兴 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 梁鹏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于激光等离子体发射光谱领域,具体涉及一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法,包括以下步骤:(1)烧蚀待测样品表面产生等离子体;(2)准备一聚焦镜可移动的波长可调谐激光器;(3)输出激光束,通过聚焦镜聚焦在等离子体上;(4)移动聚焦镜的位置,采集等离子体发射光谱;(5)对比各个聚焦位置时的光谱强度,确定待测元素原子最佳激发效率区域,调节波长可调谐激光器激光束聚焦在最佳激发效率区域上;(6)采集等离子体发射光谱,进行定量或定性分析。本发明的方法避免了基体元素干扰,提高了波长可调谐激光能量的利用率,提高了对待测元素原子共振激发效率,改善了激光诱导击穿光谱的检测灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 激光诱导击穿光谱 激发效率 波长可调谐激光器 等离子体发射光谱 等离子体 基体干扰 元素分析 元素原子 聚焦镜 定性分析 采集 激光等离子体 波长可调谐 激光束聚焦 检测灵敏度 输出激光束 待测样品 发射光谱 基体元素 激光能量 聚焦位置 移动聚焦 可移动 共振 烧蚀 光谱 聚焦 | ||
【主权项】:
1.一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法,其特征在于,具体包括以下步骤:S1.准备好待测样品,打开固定波长激光器输出激光束,采用激光束烧蚀待测样品表面产生等离子体;S2.准备一个波长可调谐激光器,该波长可调谐激光器的聚焦镜能够上下左右移动;打开该波长可调谐激光器,将激光束的波长调节为与待测元素原子的激发线相同,输出激光束并通过聚焦镜将激光束聚焦在等离子体上;S3.通过调节波长可调谐激光器的聚焦镜,改变波长可调谐激光器的激光束的焦点在等离子体上的位置以扫描等离子体的不同部位,采集不同聚焦位置处的等离子体发射光谱,记录基体元素谱线和待测元素谱线强度;S4.对比各个聚焦位置时的光谱强度,确定待测元素原子的最佳激发效率区域,调节波长可调谐激光器的聚焦镜的位置,令波长可调谐激光器的激光束聚焦在等离子体的最佳激发效率区域上;S5.采集最佳激发效率区域上的等离子体发射光谱,通过该等离子体发射光谱对待测元素进行定量或定性分析。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学,未经华中科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611247147.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。