[发明专利]用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法有效
| 申请号： | 201611235859.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106645211B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 冯文杰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黄瑜 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。本发明提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，该透明检测板的结构尺寸和在检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配，通过用透明检测板代替传统的玻璃基板，有效避免了玻璃基板的损坏，并缩短矫正时间。本发明提供的矫正干蚀刻机台的扫描传感器的方法通过比对第一信号值A、第二信号值B，以及干蚀刻机台的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 矫正 干蚀刻 扫描传感器 检测板 检测 治具 透明 玻璃基板 传送腔体 第二信号 扫描区域 亚克力板 有效判别 传统的 比对 适配 参考 | ||
【主权项】：
1.一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在所述检测载体上的透明检测板，所述透明检测板的材质是亚克力板，所述透明检测板的结构尺寸和在所述检测载体上的安装位置与所述干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配，所述检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。
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