[发明专利]石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法有效

专利信息
申请号: 201611203123.0 申请日: 2016-12-23
公开(公告)号: CN106644053B 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 潘凌锋;陈一信;郭彬;陈浙泊 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: G01H17/00 分类号: G01H17/00
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 318000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法,包括如下步骤:自动搜索数据初始化、自动搜索测频参数设置、自动搜索扫频参数设置、自动搜索谐振频率、自动搜索频率切换参数设置、自动搜索完成数据处理;本发明的优点在于:石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法,具有抗干扰性强、搜索稳定、操作简单、测量精度高、测频信息完整等特点。
搜索关键词: 自动搜索 测频 参数设置 石英晶片 研磨 测量精度高 数据初始化 频率切换 数据处理 谐振频率 信息完整 扫频 搜索
【主权项】:
1.石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法,其特征在于,包括如下步骤:自动搜索数据初始化步骤、自动搜索测频参数设置步骤、自动搜索扫频参数设置步骤、自动搜索谐振频率步骤、自动搜索频率切换参数设置步骤、自动搜索完成数据处理步骤;101)自动搜索数据初始化步骤:将自动搜索频段数进行置位,自动搜索状态标志位、自动搜索测频结果标志位和自动搜索频段切换标志位初始化,其他参数进行清零;其他参数进行清零包括自动搜索谐振频率清零,自动搜索每段谐振次数存储数组清零,自动搜索每段获取的谐振频率存储数组清零,自动搜索每段指定次搜索宽度匹配获取谐振频率次数存储数组清零,自动搜索每段指定次搜索宽度匹配获取谐振频率存储数组清零,自动搜索测频扫频频段切换计时清零,自动搜索圈数清零,DDS边沿跳变标志位清零,谐振频率采样DDS上升沿和下降沿的步进数清零,DDS扫频采样完成标志位清零,DDS扫频采样数据处理标志位清零;102)自动搜索测频参数设置步骤:在步骤101)后,对参数进行用户定义设置,设置石英晶片研磨目标频率、DDS扫频的起始频率和截止频率以及DDS扫频速率和扫频步进、DDS扫频序列位置,通过基于谐振频率的处理方法获取石英晶片测频工作原理依赖的扫频幅度和搜索宽度两个数据;103)自动搜索扫频参数设置步骤:在步骤102)后,将DDS扫频的起始频率、截止频率、扫频步进、扫频速率、扫频幅度写入DDS,DDS开始扫频进行定时AD采样;104)自动搜索频率切换参数设置步骤:在步骤103)后,判断自动搜索频率切换时间满足而自动搜索起始频率不满足,则对步骤103)涉及的参数进行更新,返回步骤103)开始下一轮DDS扫频;105)自动搜索谐振频率步骤:在步骤103)后,判断自动搜索频率切换时间不满足,进入自动搜索谐振频率,则DDS开始扫频,MCU定时器按照DDS扫频速率的值进行定时AD采样;只要未按下紧急暂停按钮,且AD采样数据个数达到MCU设定值的时候,则进入步骤104);若按下紧急暂停按钮则退出自动搜索,进入待机状态;所述AD采样的数据处理,用16个搜索宽度依次进行谐振频率搜索匹配,每次谐振频率匹配根据8点搜索方法遍历所有AD采样数据获取谐振频率峰高,根据谐振频率峰高判断搜索结果,并保存搜索成功次数最多的一次谐振频率;106)自动搜索完成数据处理步骤:在步骤103)后,判断自动搜索频率切换时间和自动搜索起始频率,如果都满足要求,则根据自动搜索起始频段序列值和自动搜索频段数,对每个频段存储的谐振频率利用误测信号剔除方法后,获取本频段的谐振次数和将误测信号剔除后的谐振频率平均值,然后通过比较获取谐振次数最多的频段,并根据本频段的谐振次数判断是否索搜成功,成功后进入跟踪测频流程,不成功则回到步骤103)。
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