[发明专利]一种柔性OLED显示屏薄膜封装方法

摘要

本发明提供一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法，所述方法采用三甲基铝作为有机铝源，高纯臭氧作为反应气体，高纯氮气作为清除气体，在衬底上使用原子层沉积工艺制备Al2O3致密介质膜层，然后涂覆聚对二甲苯层，通过固化的方法聚合成高分子膜。本发明提供上述方法有效克服OLED器件封装保护层在折弯柔性显示装置时容易断裂，从而使得水氧阻隔能力大幅降低，影响显示效果，甚至可能导致OLED失效的技术缺陷，本发明提供上述方法过程中不需要加入干燥剂，制备的封装结构能够有效的阻隔水氧对显示屏的浸入，防止材料老化，延长了OLED器件寿命。

主权项

1.一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法，其特征在于，所述方法采用三甲基铝作为有机铝源，高纯臭氧作为反应气体，高纯氮气作为清除气体在衬底上制备Al2O3介质致密膜层，然后涂覆聚对二甲苯层，包括以下步骤：（1）清洗塑料衬底，获得清洁的塑料衬底；所述清洗塑料衬底包括以下步骤：在乙醇溶液中超声清洗10‑15分钟，去除塑料衬底表面的油脂，然后用去离子水冲洗，去除塑料衬底表面的盐，在40‑50℃的氩气保护下烘干塑料衬底；所述氩气为纯度为99.9%，氩气的环境气压为100‑1000Pa；（2）在所述清洁塑料衬底上，采用250‑320℃的衬底温度，真空度下，采用三甲基铝作为铝源、高纯臭氧分子为反应气体，高纯氮气为清除气体，通过原子层沉积Al2O3介质致密膜层；所述原子层沉积三甲基铝的流量为10‑20sccm，高纯臭氧的流量为20‑50sccm，高纯氮气的流量为50‑100sccm；（3）对二甲苯二聚体进行140‑180℃高温裂解产生双自由基二甲苯，再在Al2O3介质致密膜层表面冷凝并迅速聚合，得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜，作为阻挡水汽和氧气的屏障；（4）将所述塑料衬底粘帖在OLED的金属阴极层上，压紧后，周围涂上PMMA，完成器件封装。