[发明专利]基于具备台状有源区SPiN二极管可重构全息天线的制备方法在审
| 申请号： | 201611184770.1 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106848605A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q23/00 | 分类号： | H01Q23/00;H01Q1/22;H01Q1/50;H01Q1/36;H01Q5/321 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于具备台状有源区SPiN二极管可重构全息天线的制备方法，其中，所述全息天线包括SOI衬底(1)、第一天线臂(2)、第二天线臂(3)、同轴馈线(4)及全息圆环(14)；所述制备方法包括在所述SOI衬底(1)上制作多个基于台状有源区的SPiN二极管；将多个所述基于台状有源区的SPiN二极管依次互连PAD以形成多个SPiN二极管串；由多个等长的SPiN二极管串形成所述第一天线臂(2)和第二天线臂(3)；制作所述同轴馈线(4)以连接所述第一天线臂(2)及所述第二天线臂(3)以形成所述全息天线；本发明制备的全息天线体积小、结构简单、易于加工、无复杂馈源结构、频率可快速跳变，且天线关闭时将处于电磁波隐身状态，易于组阵，可用作相控阵天线的基本组成单元。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 具备 有源 spin 二极管 可重构 全息 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于具备台状有源区SPiN二极管可重构全息天线的制备方法，其特征在于，所述全息天线包括SOI衬底(1)、第一天线臂(2)、第二天线臂(3)、同轴馈线(4)及全息圆环(14)；其中，所述制备方法包括：在所述SOI衬底(1)上制作多个基于台状有源区的SPiN二极管；将多个所述基于台状有源区的SPiN二极管依次互连PAD以形成多个SPiN二极管串；由多个等长的SPiN二极管串形成所述第一天线臂(2)和第二天线臂(3)；制作所述同轴馈线(4)以连接所述第一天线臂(2)及所述第二天线臂(3)以形成所述全息天线。
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