[发明专利]Ge基频率可重构套筒偶极子天线的制备方法在审
| 申请号： | 201611184738.3 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106898857A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 左瑜;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q1/50;H01Q5/321;H01L21/84;H01L21/329 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Ge基频率可重构套筒偶极子天线的制备方法。该方法包括选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底上制作多个相同的横向SPiN二极管；光刻PAD以形成多个所述横向SPiN二极管的串行连接；制作直流偏置线以连接所述横向SPiN二极管与直流偏置电源，并将多个所述横向SPiN二极管分割形成多个SPiN二极管串；划分所述SPiN二极管串形成所述SPiN二极管天线臂、所述第一SPiN二极管套筒及所述第二SPiN二极管套筒；制作所述同轴馈线以连接所述SPiN二极管天线臂、所述第一SPiN二极管套筒及所述第二SPiN二极管套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。本发明的天线具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | ge 基频 率可重构 套筒 偶极子 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Ge基频率可重构套筒偶极子天线的制备方法，其特征在于，所述天线包括GeOI衬底、SPiN二极管天线臂、第一SPiN二极管套筒、第二SPiN二极管套筒、同轴馈线、直流偏置线；其中，所述制备方法包括：选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底上制作多个相同的横向SPiN二极管；光刻PAD以形成多个所述横向SPiN二极管的串行连接；制作直流偏置线以连接所述横向SPiN二极管与直流偏置电源，并将多个所述横向SPiN二极管分割形成多个SPiN二极管串；划分所述SPiN二极管串形成所述SPiN二极管天线臂、所述第一SPiN二极管套筒及所述第二SPiN二极管套筒；制作所述同轴馈线以连接所述SPiN二极管天线臂、所述第一SPiN二极管套筒及所述第二SPiN二极管套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。
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