[发明专利]Ge异质SPiN二极管频率可重构套筒偶极子天线制备方法在审
| 申请号： | 201611183903.3 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106848604A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张亮;左瑜 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q23/00 | 分类号： | H01Q23/00;H01Q1/22;H01Q1/50;H01Q1/36;H01Q5/321 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Ge异质SPiN二极管频率可重构套筒偶极子天线制备方法。该方法包括在GeOI衬底上按照套筒偶极子天线的结构制作多个横向SPiN二极管，且横向SPiN二极管的P区采用Si材料、i区采用Ge材料及N区采用Si材料以形成异质Ge基SPiN二极管；在多个横向SPiN二极管上光刻PAD实现多个横向SPiN二极管的串行连接以形成多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个SPiN二极管串制作天线臂和套筒；制作同轴馈线以连接天线臂及套筒，最终形成套筒偶极子天线。本发明的套筒偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂及套筒长度的可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | ge 异质 spin 二极管 频率 可重构 套筒 偶极子 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Ge异质SPiN二极管频率可重构套筒偶极子天线制备方法，其特征在于，所述套筒偶极子天线包括GeOI材料、天线臂、套筒、同轴馈线、直流偏置线；其中，所述制备方法包括：在所述GeOI衬底上按照所述套筒偶极子天线的结构制作多个横向SPiN二极管，且所述横向SPiN二极管的P区采用Si材料、i区采用Ge材料及N区采用Si材料以形成异质Ge基SPiN二极管；在多个所述横向SPiN二极管上光刻PAD实现多个所述横向SPiN二极管的串行连接以形成多个所述SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个所述SPiN二极管串制作所述天线臂和所述套筒；制作所述同轴馈线以连接所述天线臂及所述套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。
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