[发明专利]扫描用反射镜在审
| 申请号： | 201611183570.4 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106975838A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 工藤裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成,褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种扫描用反射镜，其抑制驱动时的镜座的挠曲，实现聚光特性的提高。本发明的扫描用反射镜(14)具有镜座(16)和形成在镜座(16)上的反射膜(17)。镜座(16)由比刚性的值为至少100[GPa·cm3/g]以上的非金属材料形成，该比刚性的值由杨氏模量[GPa]和密度[g/cm3]规定。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 反射 | ||
【主权项】：
一种扫描用反射镜，其具备：镜座；形成在所述镜座上的反射膜，所述镜座由比刚性的值为至少100[GPa·cm3/g]以上的非金属材料构成，该比刚性的值由杨氏模量和密度规定。
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