[发明专利]一种金刚石涂层刀具的退涂方法有效
申请号: | 201611116715.9 | 申请日: | 2016-12-07 |
公开(公告)号: | CN106756866B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 许立;赵亚晴 | 申请(专利权)人: | 富耐克超硬材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/27;C23G5/00 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 张鹏辉 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种金刚石涂层刀具的退涂方法,属于涂层刀具技术领域,包括以下步骤:将金刚石涂层刀具放入微波等离子体化学气相沉积设备的腔室内,抽真空,然后通入氮气,使腔室内压力达到6~8kPa,设定微波的频率为2.45GHz,功率为3~6kW或者选用微波的频率为916MHz,功率不小于35kW的CVD涂层设备,升高温度至300~500℃,以200~300sccm通入氧气,保温,完成退涂,得到刀具基体。本发明方法简单,成本低廉,不使用对人体有危害的气体,能够有效去除金刚石涂层且无损基体,适用于规模化生产。 | ||
搜索关键词: | 金刚石涂层刀具 微波 微波等离子体化学气相沉积 氮气 规模化生产 金刚石涂层 刀具基体 室内压力 涂层刀具 涂层设备 抽真空 放入 去除 无损 保温 氧气 升高 室内 | ||
【主权项】:
1.一种金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:包括以下步骤:将金刚石涂层刀具放入微波等离子体化学气相沉积设备的腔室内,抽真空,然后通入氮气,使腔室内压力达到6~8kPa,设置微波的频率为2.45GHz、功率为3~6kW或者选用微波的频率为916MHz、功率不小于35kW,升高温度至300~500℃,以200~300sccm通入氧气,保温,得到刀具基体;所述的氧气量占总气量的40~50%;对退涂后得到的刀具基体进行喷砂处理和清洗处理;喷砂处理的参数为:喷嘴压力1.5~2bar,喷砂时间10~30s。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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