[发明专利]一种金刚石涂层刀具的退涂方法有效

专利信息
申请号: 201611116715.9 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN106756866B 公开(公告)日: 2019-03-15
发明(设计)人: 许立;赵亚晴 申请(专利权)人: 富耐克超硬材料股份有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/27;C23G5/00
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 张鹏辉
地址: 450001 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种金刚石涂层刀具的退涂方法,属于涂层刀具技术领域,包括以下步骤:将金刚石涂层刀具放入微波等离子体化学气相沉积设备的腔室内,抽真空,然后通入氮气,使腔室内压力达到6~8kPa,设定微波的频率为2.45GHz,功率为3~6kW或者选用微波的频率为916MHz,功率不小于35kW的CVD涂层设备,升高温度至300~500℃,以200~300sccm通入氧气,保温,完成退涂,得到刀具基体。本发明方法简单,成本低廉,不使用对人体有危害的气体,能够有效去除金刚石涂层且无损基体,适用于规模化生产。
搜索关键词: 金刚石涂层刀具 微波 微波等离子体化学气相沉积 氮气 规模化生产 金刚石涂层 刀具基体 室内压力 涂层刀具 涂层设备 抽真空 放入 去除 无损 保温 氧气 升高 室内
【主权项】:
1.一种金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:包括以下步骤:将金刚石涂层刀具放入微波等离子体化学气相沉积设备的腔室内,抽真空,然后通入氮气,使腔室内压力达到6~8kPa,设置微波的频率为2.45GHz、功率为3~6kW或者选用微波的频率为916MHz、功率不小于35kW,升高温度至300~500℃,以200~300sccm通入氧气,保温,得到刀具基体;所述的氧气量占总气量的40~50%;对退涂后得到的刀具基体进行喷砂处理和清洗处理;喷砂处理的参数为:喷嘴压力1.5~2bar,喷砂时间10~30s。
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