[发明专利]一种双带动态可调的太赫兹带通滤波器有效
| 申请号： | 201611113110.4 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106450613B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 胡放荣;王志远;胥欣;李鹏;姜文英;陈元枝 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 欧阳波 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明为一种双带动态可调的太赫兹带通滤波器，有多个相连的阵列单元的二维阵列位于硅基底的通孔上，每个阵列单元包括两个开口环谐振器和一个一字形结构，均为顶面金属层的硅主体，高度相同。开口环谐振器为矩形环，其一边有开口，两个环谐振器的开口宽度不同，一字形结构位于两个开口环谐振器有开口的边之间，并与之平行。可动框架套在二维阵列外围，一字形结构与可动框架相连。两组静电梳齿驱动器的活动梳齿与可动框架相连接，带动可动框架与一字形结构移动。一字形结构和两个开口环谐振器之间的间距改变，即动态调节本带通滤波器两个通带中心频率对应的透射功率，实现双单带的转变，提高频率选择能力和扩大应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 可调 赫兹 带通滤波器 | ||
【主权项】：
一种双带动态可调的太赫兹带通滤波器，滤波器中央的二维阵列位于硅基底的通孔上，所述二维阵列由多个相连的阵列单元构成，其特征在于：所述二维阵列的每一个阵列单元(1)包括两个开口环谐振器(11、13)和一个一字形结构(12)，开口环谐振器(11、13)和一字形结构(12)均为硅主体(15)，其顶面为金属层(14)，高度相同；开口环谐振器(11、13)为矩形环，其中一边有开口，开口的中心线与该边的中心线重合，两个开口环谐振器(11、13)的开口宽度不同，一字形结构(12)位于两个开口环谐振器(11、13)的之间、与两个开口环谐振器(11、13)的有开口的边平行，两个开口环谐振器(11、13)的开口的边各朝向一字形结构(12)的一侧；二维阵列中同一行内相邻的开口环谐振器相互连接并固定于二维阵列外侧硅基底(10)的锚点上，同一行的一字形结构(12)相互连接；还有一个可动框架(2)和多个静电梳齿驱动器(4)；可动框架(2)为矩形框架，套在二维阵列外围，二维阵列结构中的一字形结构(12)与可动框架(2)相连；多个静电梳齿驱动器(4)对称地固定安装于可动框架(2)左右外侧的硅基底(10)上；静电梳齿驱动器(4)的固定梳齿和活动梳齿交错排列、各连接不同的电极，静电梳齿驱动器的活动梳齿与可动框架(2)外侧相连接；多个静电梳齿驱动器(4)分为驱动力相等的两组，两组的静电梳齿驱动器(4)的活动梳齿移动方向相反。
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