[发明专利]一种空心阴极光源在审
申请号: | 201611091612.1 | 申请日: | 2016-12-01 |
公开(公告)号: | CN107036976A | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 徐荣网 | 申请(专利权)人: | 昆山书豪仪器科技有限公司;徐荣网 |
主分类号: | G01N21/25 | 分类号: | G01N21/25;H01J61/52;H01J61/09 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 李敏 |
地址: | 215343 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种空心阴极光源,其特征在于,包括主体,包括第一电极棒、第二电极棒及设于所述第一电极棒与所述第二电极棒之间的样品载体;真空系统,用于抽取所述主体内部的气体;载气系统,用于在所述真空系统抽气后充入载气;冷却水系统,用于对激发过程进行冷却。本发明空心阴极光源可提高了试样的检测精度,同时,检出限更低、放电稳定性更高,分析速度更快。 | ||
搜索关键词: | 一种 空心 阴极 光源 | ||
【主权项】:
一种空心阴极光源,其特征在于,包括:主体,具有第一电极棒、第二电极棒及设于所述第一电极棒与所述第二电极棒之间的试样载体;真空系统,用于抽取所述主体内部的气体;载气系统,用于在所述真空系统抽气后充入载气;冷却水系统,用于对激发过程进行冷却。
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