[发明专利]基于无机微米LED阵列的全彩色微显示芯片及其制备方法在审
申请号: | 201611090359.8 | 申请日: | 2016-12-01 |
公开(公告)号: | CN106409168A | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 田朋飞;刘晓艳;刘冉;郑立荣 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G09F9/33 | 分类号: | G09F9/33;H01L33/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司31200 | 代理人: | 陆飞,陆尤 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及半导体光电子技术领域,具体公开一种基于无机微米LED的全彩色微显示芯片及其制备方法。本发明包括由高效率氮化镓基LED外延片材料制备蓝光和绿光微米LED阵列,由高效率砷化镓基LED外延片材料制备红光微米LED阵列,每个阵列单独成为单色微显示芯片;将上述三种微米LED阵列以红光、绿光和蓝光的次序按垂直方向上对准键合,集成红光、绿光和蓝光三种发光波长的微显示芯片。本发明工艺简单,这有利于降低芯片成本。本发明中的芯片可用于微投影和微显示领域,包括可穿戴智能眼镜、智能手表、虚拟现实、增强现实等设备。 | ||
搜索关键词: | 基于 无机 微米 led 阵列 彩色 显示 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种基于无机微米LED阵列的全彩色微显示芯片,其特征在于,包括:由高效率氮化镓基LED外延片材料制备的蓝光和绿光微米LED阵列,由高效率砷化镓基LED外延片材料制备的红光微米LED阵列,每个阵列单独为单色微显示芯片;三种微米LED阵列以红光、绿光和蓝光的次序,按垂直方向上对准键合集成红光、绿光和蓝光三种发光波长的微显示芯片,即从下到上依次为红光、绿光和蓝光芯片。
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