[发明专利]集成有效元与光学参考元的像素以及微测辐射热计

摘要

本发明涉及红外探测，提供一种集成有效元与光学参考元的像素，包括衬底以及有效元，有效元包括第一桥面层、第一桥腿层以及第一锚柱，还包括光学参考元以及反射层，光学参考元包括第二桥面层、第二桥腿层以及第二锚柱，第二桥面层位于第一桥面层与衬底之间，且反射层位于第二桥面层与第一桥面层之间；还提供一种微测辐射热计，包括上述像素。本发明中，在有效元与衬底之间增设有光学参考元，光学参考元镜像有效元电流对探测器的温度且能够对该温度时时校正，保证有效元处于适宜温度下工作，且可以保证电学接触读取信号不被电路中的导线长短而影响，减小误差，另外这种结构的像素摒弃了对TEC的使用，进而使得微测辐射热计的制备成本大大降低。

主权项

一种集成有效元与光学参考元的像素，包括衬底以及安设于所述衬底上的有效元，所述有效元包括第一桥面层、与所述第一桥面层电连接的第一桥腿层以及连接所述第一桥腿层与所述衬底的第一锚柱，其特征在于：还包括光学参考元以及反射层，所述光学参考元包括第二桥面层、与所述第二桥面层电连接的第二桥腿层以及连接所述第二桥腿层与所述衬底的第二锚柱，所述第二桥面层位于所述第一桥面层与所述衬底之间，且所述反射层位于所述第二桥面层与所述第一桥面层之间。