[发明专利]层叠穿通式复合光电探测器有效

专利信息
申请号: 201610979245.2 申请日: 2016-11-08
公开(公告)号: CN106531728B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 王波;周红;高传顺;张兴 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
主分类号: H01L25/04 分类号: H01L25/04
代理公司: 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人: 侯懋琪;侯春乐
地址: 400060 重庆*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 一种层叠穿通式复合光电探测器,所述层叠穿通式复合光电探测器由载体板、雪崩探测器芯片、定位板、衬板和多象限探测器芯片组成;本发明的有益技术效果是:提供了一种层叠穿通式复合光电探测器,相比于现有技术,本发明可以在更小体积、更低成本的条件下将两种探测器整合在一起。
搜索关键词: 层叠 通式 复合 光电 探测器
【主权项】:
1.一种层叠穿通式复合光电探测器,其特征在于:所述层叠穿通式复合光电探测器由载体板(1)、雪崩探测器芯片(2)、定位板(3)、衬板(4)和多象限探测器芯片(5)组成;所述载体板(1)的上端面为矩形,载体板(1)上端面的面积远大于雪崩探测器芯片(2)的周向轮廓的面积,载体板(1)上端面上设置有金属层(1‑1)、P电极层(1‑2)和N电极层(1‑3);所述金属层(1‑1)的周向轮廓与雪崩探测器芯片(2)的周向轮廓匹配,金属层(1‑1)位于载体板(1)上端面的中部,雪崩探测器芯片(2)设置在金属层(1‑1)的表面,雪崩探测器芯片(2)下端面上的电极层与金属层(1‑1)连接;所述P电极层(1‑2)的形状为反L形,反L形的竖向段的上端与金属层(1‑1)连接,反L形的横向段位于载体板(1)上端面的下侧边沿;所述N电极层(1‑3)的形状为L形,L形的竖向段的上端位于金属层(1‑1)的右侧,L形的横向段位于载体板(1)上端面的下侧边沿,P电极层(1‑2)和N电极层(1‑3)呈倒T形分布,N电极层(1‑3)和金属层(1‑1)之间留有间隔,N电极层(1‑3)和雪崩探测器芯片(2)上端的电极之间通过外接引线连接,N电极层(1‑3)和P电极层(1‑2)之间留有间隔;所述定位板(3)的外轮廓与载体板(1)的外轮廓匹配,定位板(3)的下侧设置有倒T形缺口,定位板(3)设置在载体板(1)的上端面上,金属层(1‑1)、P电极层(1‑2)和N电极层(1‑3)均位于缺口内;所述衬板(4)的外轮廓与载体板(1)的外轮廓相同,衬板(4)设置在定位板(3)的上端面上,衬板(4)与载体板(1)对正设置;衬板(4)中部设置有第一通孔,第一通孔的位置与雪崩探测器芯片(2)相对,第一通孔的面积大于雪崩探测器芯片(2)的周向轮廓的面积;所述多象限探测器芯片(5)设置在衬板(4)的上端面上;多象限探测器芯片(5)端面中心的象限盲区设置有第二通孔,第二通孔的位置与雪崩探测器芯片(2)相对,第二通孔的面积大于雪崩探测器芯片(2)的周向轮廓的面积。
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