[发明专利]一种基于P（VDF-TrFE）压电薄膜的驱动泵的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于P（VDF‑TrFE）压电薄膜的驱动泵的制备方法，包括以下步骤：1)制备P(VDF‑TrFE)溶液；2)通过P(VDF‑TrFE)溶液制备P(VDF‑TrFE)压电薄膜；3)雕刻制备驱动泵所需的第一支撑层、第二支撑层及通道层；4)图形化制备驱动泵所需的第一胶黏层、第二胶黏层及第三胶黏层；5)在步骤2)得到的P(VDF‑TrFE)压电薄膜上制备工作电极；6)将第一支撑层、第一胶黏层、P(VDF‑TrFE)压电薄膜、第二胶黏层、通道层、第三胶黏层及第二支撑层自上到下依次对准连接，然后再连接测试导线，得基于P(VDF‑TrFE)压电薄膜的驱动泵，该方法制备的驱动泵的驱动电压较小，制备过程较为简单。

主权项

1.一种基于P(VDF‑TrFE)压电薄膜的驱动泵的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)制备P(VDF‑TrFE)溶液；2)通过P(VDF‑TrFE)溶液制备P(VDF‑TrFE)压电薄膜(2)；3)雕刻制备驱动泵所需的第一支撑层(1)、第二支撑层(4)及通道层(3)；4)图形化制备驱动泵所需的第一胶黏层(6)、第二胶黏层(7)及第三胶黏层(8)；5)在步骤2)得到的P(VDF‑TrFE)压电薄膜(2)上制备工作电极(5)；6)将第一支撑层(1)、第一胶黏层(6)、P(VDF‑TrFE)压电薄膜(2)、第二胶黏层(7)、通道层(3)、第三胶黏层(8)及第二支撑层(4)自上到下依次对准连接，然后再连接测试导线，得基于P(VDF‑TrFE)压电薄膜的驱动泵；P(VDF‑TrFE)溶液的浓度为5‑35wt.％，P(VDF‑TrFE)溶液中的溶质为P(VDF‑TrFE)粉，P(VDF‑TrFE)溶液中的溶剂为丙酮及二甲基甲酰胺中的一种或两种按任意比例混合的混合物。