[发明专利]一种光学元件粗糙度在线检测系统有效
| 申请号： | 201610957048.0 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106392883B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张春雷;刘健;王绍治;徐乐;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B24B49/04 | 分类号： | B24B49/04 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学元件粗糙度在线检测系统，包括一个可沿笛卡尔坐标系的X、Y及Z轴方向运动的检测本体；检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴，在检测本体的任一运动位置上，第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行或重合；在第一摆动轴远离第一支点的一端还转动连接有第二摆动轴，在检测本体及第一摆动轴的任一运动位置上，第二摆动轴的摆动面与YOZ面平行或重合；在第二摆动轴远离第一摆动轴的一端设有用于进行粗糙度测量的震动不敏感轮廓仪；所述检测系统还包括一个用于夹持所述光学元件的工装夹具；还包括一个控制装置。本方案实现了对光学元件的在线粗糙度的检测工作，有效提高了加工效率，节约了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 粗糙 在线 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件粗糙度在线检测系统，其特征在于：所述在线检测系统，用于检测表面呈凹面或凸面的光学元件，包括一个可沿笛卡尔坐标系的X轴方向、Y轴方向及Z轴方向运动的检测本体；所述检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴，在所述检测本体的任一运动位置上，所述第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行或重合；在所述第一摆动轴远离第一支点的一端还转动连接有第二摆动轴，在所述检测本体及第一摆动轴的任一运动位置上，所述第二摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的YOZ面平行或重合；在所述第二摆动轴远离第一摆动轴的一端设有用于进行粗糙度测量的震动不敏感轮廓仪；所述检测系统还包括一个用于夹持所述光学元件的工装夹具；还包括一个控制装置，用于控制所述检测本体、第一摆动轴、第二摆动轴及震动不敏感轮廓仪的工作。
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