[发明专利]用于透射式太赫兹时域光谱系统的微流控芯片及制造方法有效
| 申请号： | 201610901298.2 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106475158B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 范宁;苏波;张聪;张盛博;张存林 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/3586 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 高燕燕;付雷杰 |
| 地址： | 100048 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于透射式太赫兹时域光谱系统的微流控芯片及制造方法。本发明的微流控芯片由从上至下布置且固连在一起的圆片形盖片、夹片和基片组成，被测液体通过盖片上的进液通道和夹片上的进液口进入探测区，太赫兹光束垂直穿透微流控芯片的探测区域进行测量，最后通过出液口和盖片上的出液通道流出。该微流控芯片制造方法简单，制造效率高，且加工成本低，键合过程中不涉及精密加工，采用该微流控芯片制造方法制造出的芯片厚度一致且均匀，芯片的质量更稳定并且拆装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 透射 赫兹 时域 光谱 系统 微流控 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种适用于透射式太赫兹时域光谱系统的微流控芯片，其特征在于，包括：从上至下布置且固连在一起的圆片形盖片(2)、夹片(3)和基片(1)；所述夹片(3)上设有微流控道沟(4)，微流控道沟(4)包括顺序设置的中通的进液口(5)、探测区(8)和出液口(6)，三者由液体通道(7)连通；所述盖片(2)上有与夹片(3)的进液口(5)和出液口(6)位置对应的中通的进液通道(10)和出液通道(11)；夹片(3)上有均匀分布在液体通道(7)两侧的螺丝孔(9)；所述基片(1)和盖片(2)上有与夹片(3)位置对应的螺丝孔(9)，用于对圆片形盖片(2)、夹片(3)和基片(1)进行固连；基片(1)和盖片(2)的材料为APS 8009TC。
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