[发明专利]一种用于触摸屏和太阳能电池领域的ITO旋转靶材的常压烧结方法

摘要

本发明涉及一种常压烧结用于触摸屏和太阳能电池领域的ITO旋转靶材的方法，包括以下步骤：将氧化铟和氧化锡质量比为93:7、95:5或97:3的ITO粉，造粒后装入管状柔性模具中，在等静压机中成型，经机加工成规则形状素坯后，放入烧结炉进行脱脂和常压氧气气氛烧结，制得相对密度为98.5～99.4%的比例为93:7、95:5或97:3的ITO旋转靶材。该方法采用常压氧气气氛烧结，将93:7、95:5、97:3的ITO靶材做成旋转靶材，有效提高这三种成份比例靶材的使用率。与压力烧结相比，本发明采用常压烧结生产设备更简单、安全，同时生产成本低，适合大批量生产。

主权项

1.一种用于触摸屏和太阳能电池领域的ITO旋转靶材的常压烧结方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将由化学共沉淀法得到的氧化铟和氧化锡质量比例为93:7、95:5或97:3的ITO粉，掺入一定量的PVA造粒，掺入的PVA质量为ITO粉质量的1.5～2.5%；将造粒后的ITO粉，装入管状柔性模具中，以200～400MPa的压力进行冷等静压成型，并对成型后的管状素坯进行机加工，得到形状规则的管状ITO素坯；（2）将机加工后的管状ITO素坯放入烧结炉进行脱脂和氧气气氛常压烧结，得到相对密度为98.5～99.4%的旋转ITO靶材；管状ITO素坯放入烧结炉进行脱脂和氧气气氛常压烧结的具体操作如下：0～600度为脱脂温度段，升温速率为0.1～0.5度/分钟，并在600度保温1～2小时；脱脂温度段，通空气，气流量为10～20升/分钟；脱脂温度段结束后，停止通空气，以0.3～0.45度/分钟升温至1200～1400度，在1200～1400度保温1～3小时，然后再用0.3～0.45度/分钟升温至1600～1650度，保温8～12小时后，以0.5～0.75度/分钟的降温速度降温至室温；升温至800～1000度时，开始通入氧气，氧气流量为20～30升/分钟，保持通氧气至温度开始下降，并降至1000～800度以下时，停止通入氧气。