[发明专利]抓持机构有效
| 申请号： | 201610842828.0 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106825649B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 柏木佑介;乙坂哲也 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B23B31/103 | 分类号： | B23B31/103;B23B31/12 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明係一种抓持机构，具备：多个卡盘爪，在相互接近的情况下产生对被抓持体的抓持力；卡盘体，将多个卡盘爪保持在共同的平面上，并使它们在平面上移动；以及多个夹盘，在多个卡盘爪各自抓持被抓持体的情况下，介置在多个卡盘爪中的每一个与被抓持体之间；且多个卡盘爪的热膨胀系数α1、多个夹盘的热膨胀系数α2及被抓持体的热膨胀系数αW之间具有下述式1所示的关系。αW＜α1＜α2(式1)。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 | ||
【主权项】：
1.一种抓持机构，其特征在于：具备：多个卡盘爪，在相互接近的情况下产生对被抓持体的抓持力；卡盘体，将所述多个卡盘爪保持在共同的平面上，并使它们在所述平面上移动；以及多个夹盘，在所述多个卡盘爪各自抓持所述被抓持体的情况下，介置在所述多个卡盘爪中的每一个与所述被抓持体之间；且该抓持机构的所述多个卡盘爪的热膨胀系数α1、所述多个夹盘的热膨胀系数α2及所述被抓持体的热膨胀系数αW之间具有下述式1所示的关系：αW＜α1＜α2(式1)；在将所述被抓持体的外径设为Dw的情况下，所述夹盘的厚度d0满足下述式3：d0≦{DW(αW‑α1)}/{2(α1‑α2)}(式3)。
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