[发明专利]一种硅化铁薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610820134.7 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN106191763B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 朱中槐;叶树林 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | C23C10/30 | 分类号： | C23C10/30;C23C10/02 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 528000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的一种硅化铁薄膜及其制备方法，其包括步骤：首先在待加工铁板表面和工具电极的工作面吸附一层硅粉；然后将脉冲电源的一极与铁板连接，脉冲电源的另一极与工具电极连接；开启脉冲电源，在铁板表面制得硅化铁薄膜。与现有技术相比，本发明具有制备工艺简单，加工效率高，生产成本低，硅化铁薄膜不易剥落的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅化铁 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅化铁薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：A、首先在待加工铁板表面和工具电极的工作面吸附一层硅粉；B、然后将脉冲电源的一极与铁板连接，脉冲电源的另一极与工具电极连接；C、开启脉冲电源，在铁板表面制得硅化铁薄膜；步骤A具体包括：待加工铁板接入静电发生器，利用静电吸附使待加工铁板表面吸附一层硅粉；工具电极接入静电发生器，利用静电吸附使工具电极的工作面吸附一层硅粉。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10-00 金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
C23C10-02 .被覆材料的预处理
C23C10-04 .局部表面上的扩散处理，例如使用掩蔽物
C23C10-06 .使用气体的
C23C10-18 .使用液体，例如盐浴、悬浮液的
C23C10-28 .使用固体，例如粉末、膏剂的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10-00 金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
C23C10-02 .被覆材料的预处理
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C23C10-06 .使用气体的
C23C10-18 .使用液体，例如盐浴、悬浮液的
C23C10-28 .使用固体，例如粉末、膏剂的
