[发明专利]还原氧化石墨烯薄膜湿敏传感器的制备方法

摘要

本发明提供了一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，通过简单的将还原氧化石墨烯抽滤成膜再转印到柔性的聚甲基硅氧烷(PDMS)衬底上，然后经磁控溅射镀上叉指电极，组装到面包板上，连接内外引线，便得到简易的湿敏传感器。该湿敏传感器能将湿度信号转化成电信号，对人体呼吸行为也能做出快速响应，这对将来用于检测呼吸系统疾病具有重要意义。该还原氧化石墨烯湿敏传感器制备方法条件温和，简单易行，工艺参数可控，成本低廉，可重复性高，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种还原氧化石墨烯湿敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤如下：量取还原氧化石墨烯水溶液1‑3mL，加入100mL的去离子水中，搅拌、超声，直至分散均匀，再用砂芯过滤装置进行抽滤，抽滤结束后，将滤膜取出，放到70℃鼓风干燥箱中干燥1h；取已经固化好的PDMS，通过按压的方式将滤膜上的还原氧化石墨烯转印到已经固化好的PDMS上，随后将PDMS泡在丙酮中，溶解滤膜，最后将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS放到70℃鼓风干燥箱中干燥；将附有还原氧化石墨烯薄膜的PDMS剪出一个长方形，用叉指图案做掩膜版，进行磁控溅射，在还原氧化石墨烯薄膜表面镀上金叉指电极；磁控溅射在氩气氛围中进行，具体参数如下：保持背底真空6.0‑4.0×10‑4 Pa，溅射气压为1.0 Pa，溅射功率为60W，溅射时间为7.5min，靶基距为50mm，气体流量为23sccm，室温条件下沉积；将镀上金叉指电极的还原氧化石墨烯柔性薄膜嵌入面包板上，用铂丝连接内外引线，便制得还原氧化石墨烯的湿敏传感器。