[发明专利]微型流体控制装置

摘要

一种微型流体控制装置，包括压电致动器及壳体；压电致动器具有正方形的悬浮板、外框、连接于悬浮板与外框之间的至少一支架以及压电陶瓷板，具有不大于悬浮板边长的边长，贴附于悬浮板的第一表面上；壳体具有集气板及底座，集气板为周缘具有侧壁构成集气腔室的框体结构，更具有多个贯穿设置的贯穿孔；底座封闭设置于压电致动器的底部，且具有中空孔洞，中空孔洞对应于悬浮板的中心部而设置；其中当压电致动器受电压驱动时，悬浮板亦随的弯曲振动，并将流体自底座的中空孔洞传输至集气腔室，再由多个贯穿孔排出。

主权项

一种微型流体控制装置，包含：一压电致动器，包括有：一悬浮板，为正方形的型态，且可由一中心部到一外周部弯曲振动；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；一压电陶瓷板，为正方形的型态，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的一第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动；以及一壳体，包括：一集气板，为周缘具有侧壁的一框体结构，并于内表面更凹陷以构成一集气腔室，用以供该压电致动器设置于该集气腔室中；以及一底座，封闭设置于该压电致动器的底部，且具有一中空孔洞，该中空孔洞对应于该悬浮板的该中心部而设置；其中，该集气板更具有多个贯穿设置的贯穿孔，当该压电致动器受电压驱动时，该悬浮板亦随的弯曲振动，并将流体自该底座的该中空孔洞传输至该集气腔室，再由该多个贯穿孔排出。