[发明专利]一种多光束阵列振镜扫描系统

摘要

本发明公开了一种多光束阵列振镜扫描系统，包括振镜框体结构，所述振镜框体结构内部设有X轴阵列振镜系统和Y轴振镜系统，X轴阵列振镜系统或Y轴振镜系统为多个轴心线相互平行的振镜组成，经扩束镜扩束后的激光通过进光口进入阵列振镜扫描系统内部，光束到达X轴阵列振镜系统被平分为n束光强相同的平行光束，n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动，并投射到Y轴振镜系统上，在Y轴振镜偏转反射带动下，n组光束在Y方向上移动，最后该n组光束经过出光口并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。通过本发明的技术方案，加工效率将会成倍增长，增长的倍数与振镜的阵列数目相同，极大的降低加工时间和加工成本。

主权项

1.一种多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，包括振镜框体结构(5)，所述振镜框体结构上设有进光口(1)和出光口(4)，所述振镜框体结构(5)内部设有X轴阵列振镜系统(2)和Y轴振镜系统(3)，所述X轴阵列振镜系统(2)由多个轴心线相互平行的振镜组成，Y轴振镜系统为单振镜，经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，光束到达X轴阵列振镜系统(2)被平分为n束光强相同的平行光束，n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动，并投射到Y轴振镜系统(3)上，在Y轴振镜偏转反射带动下，n组光束在Y方向上移动，从而实现n组光束在X方向位置可控运动，在Y方向同步运动，最后经过Y轴振镜系统反射该n组光束经过出光口(4)并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑；具体的，其中X轴阵列振镜系统(2)为n面反射率和透射率不同的振镜组成，激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，在通过X轴阵列振镜系统(2)时，首先经过X轴阵列振镜系统(2)第一振镜，第一振镜将反射过来的激光一部分透射到第二振镜上，另一部分光在第一振镜偏转带动下反射到Y轴振镜系统(3)上，并在Y轴振镜系统(3)偏转带动下反射经过F‑θ镜聚焦到成型平面上，形成光束1，同样第二振镜接收的光，一部分透射到第三振镜上，一部分光在第二振镜偏转带动下反射到Y轴振镜系统(3)上，并在Y轴振镜系统(3)偏转带动下反射经过F‑θ镜聚焦到成型平面上，形成光束2，如此类推，X轴阵列振镜系统(2)有几组镜片，每次偏转反射光均为总能量的几分之一，在成形平面上也将形成几组光束。