[发明专利]一种三轴加速计有效
申请号: | 201610743219.X | 申请日: | 2016-08-27 |
公开(公告)号: | CN107782916B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 邹波;郑青龙 | 申请(专利权)人: | 深迪半导体(绍兴)有限公司 |
主分类号: | G01P15/18 | 分类号: | G01P15/18;G01P15/125 |
代理公司: | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人: | 杨飞 |
地址: | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种三轴加速计,包括设置凹槽的质量块,所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计,能够大幅提高传感器的敏感度,缩小敏感质量,还能够减小三轴加速计的面积。 | ||
搜索关键词: | 一种 加速 | ||
【主权项】:
一种三轴加速计,其特征在于,包括设置凹槽的质量块,所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过设置于所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。
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