[发明专利]一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统

摘要

本发明公开了一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统，包括He‑Ne激光器、组合镜、主镜、靶球和靶室，主镜安装在靶室内，组合镜包括两个聚光镜、两个反射镜、分光镜、和对准物镜，两个聚光镜设置在光纤和靶球，其中一个反射镜靠近一个聚光镜设置，分光镜设置在反射镜的下方，He‑Ne激光器设置在分光镜的前侧，反射镜设置在分光镜的下方，对准物镜设置在靶球的后侧，对准物镜的两侧分别设置有保护玻璃。本发明采用四块互相垂直的球面反射镜，可以减少彗差，减少视场倾斜，加工成本低、装调简单、实验时间短、不引入额外误差。

主权项

一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统，包括He‑Ne激光器、组合镜、主镜、靶球和靶室，所述主镜安装在靶室内，其特征在于，所述组合镜包括第一聚光镜、第二聚光镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜和对准物镜，所述第一聚光镜设置在光纤和第二聚光镜之间，第二聚光镜设置在第一聚光镜和靶球之间，且光纤、第一聚光镜、第二聚光镜、靶球位于同一直线上，所述第一反射镜靠近第二聚光镜设置，所述分光镜设置在第一反射镜的下方，所述He‑Ne激光器设置在分光镜的前侧且位于光纤末端的下方，所述第二反射镜设置在分光镜的下方，且第一反射镜、分光镜和第二反射镜设置在一条直线上，所述对准物镜设置在靶球的后侧，所述对准物镜的两侧分别设置有保护玻璃；所述主镜包括第一主反射镜和多个副反射镜，所述第一主反射镜后侧依次设置有第五副反射镜、第一副反射镜、第二副反射镜、第三副反射镜、第四副反射镜，所述第五副反射镜上开设有一个完全透过X光的通孔，所述第一主反射镜、第五副反射镜、第一副反射镜在一条直线上，所述第二副反射镜、第三副反射镜、第四副反射镜在一条直线上，所述第一副反射镜和第二副反射镜之间设置有自由调节的夹角，所述第一主反射镜的一侧设置有显微镜。