[发明专利]一种用于光谱仪真空腔室盖板装置

摘要

本发明公开了一种用于光谱仪真空腔室的盖板装置，包括盖板，盖板下部具有凹下的盖板腔室，盖板腔室内有凸起支柱，第一密封部件下部具有第一密封腔室且与盖板通过第一联接件联接凸起支柱和配合通孔进行联接，第二密封部件安装在第一密封腔室内且位于配合通孔下部且通过与第一密封部件联接的第二联接件封闭配合通孔，弹性件安装在第一联接件或凸起支柱部位外壁且位于第一联接件或凸起支柱部位外壁和配合通孔内壁之间；本发明通过采用盖板腔室、凸起支柱、弹性件、第一密封部件和第二密封部件的配合，使得在抽真空的过程中，盖板结构受力时会有一个缓冲作用，且样品腔室不会受到急剧变化的压力影响，保护了待检测样品。

主权项

1.一种用于光谱仪真空腔室的盖板装置，其特征在于,包括盖板，第一密封部件，第二密封部件；所述盖板下部具有凹下的盖板腔室，所述盖板腔室内有凸起支柱；所述第一密封部件安装在所述盖板腔室内部，且与所述凸起支柱对应位置具有配合通孔，所述第一密封部件下部具有第一密封腔室，所述第一密封部件与所述盖板通过第一联接件联接所述凸起支柱和所述配合通孔进行联接；所述第二密封部件安装在所述第一密封腔室内且位于所述配合通孔下部且通过与所述第一密封部件联接的第二联接件封闭所述配合通孔；所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁安装有弹性件，所述弹性件位于所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁和所述配合通孔内壁之间，所述盖板通过位于自身一端的轴进行转动开合。