[发明专利]罗茨真空机组自洁降温机构

摘要

本发明公开了一种罗茨真空机组自洁降温机构，用于解决罗茨真空机组内部腐蚀和超温停车问题。该机构包括：除杂部件，其与罗茨真空泵进气腔固定连接，用来滤除工作气体中的杂质，停车过程中引入清洁空气冲刷泵内零件，实现清洁和降温；供气部件，其与罗茨真空泵吸气腔固定连接，工作中将清洁冷空气引入吸气腔，冲刷真空泵的转子，实现清洁和降温；排气管道，与罗茨真空泵排气腔固定连接，用来将工作气体输送进下游真空容器，防止停车时气流返回泵腔。本发明可以应用于抽除复杂成分气体的真空机组，减少腐蚀性气体对真空机组的伤害，同时降低真空机组温度，延长真空机组使用寿命。

主权项

1.一种罗茨真空机组自洁降温机构，其特征在于，包括：除杂部件，其设置在罗茨真空泵的进气端；所述除杂部件包括一第一过滤器；至少一个供气部件，其向所述罗茨真空泵中提供冷空气；所述供气部件包括冷空气输送管道以及设置在所述冷空气输送管道中的气体流量调节阀和第二过滤器；还包括设置在所述罗茨真空泵的排气管道中的单向阀门；所述罗茨真空机组运转时，启动所述单向阀门；所述罗茨真空机组停止运转时，关闭所述单向阀门；所述除杂部件包括一进气管道，所述进气管道与所述罗茨真空泵的进气端密封连接；所述除杂部件还包括一充气阀门，所述充气阀门设置在所述进气管道上；当所述罗茨真空机组不工作时，启动所述充气阀门，所述充气阀门向所述罗茨真空泵内输送清洁空气，对所述罗茨真空泵进行清洁。