[发明专利]具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法

摘要

为了解决目前在大口径薄膜衍射元件制备工艺中存在的技术难题，本发明提供了一种具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法，包括5个步骤：步骤1为多台阶浮雕结构石英基底制作，步骤2为聚合物溶液的涂覆，步骤3为聚合物溶液的固化成膜，步骤4为薄膜与基底的分离，步骤5为薄膜的拼接。有益的技术效果：本发明具有低成本、重复性高、简单高效的优点。由本方法制备出的元件的衍射效率不低于70％。

主权项

1.具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法，其特此在于：包括5个步骤，依次为：多台阶浮雕结构石英基底制作，聚合物溶液的涂覆，聚合物溶液的固化成膜，薄膜与基底的分离，薄膜的拼接；按如下步骤进行：步骤1：多台阶浮雕结构石英基底制作：即制作含有2m个台阶的石英浮雕结构件；取一块石英基块，对其进紫外光刻、离子束刻蚀和附加保护层制作得到含有2m个台阶的石英浮雕结构件，其中，m>1；步骤2：聚合物溶液的涂覆：将聚酰胺酸溶液涂覆在由步骤1获得的含有2m个台阶的石英浮雕结构件上，获得表面覆盖有聚酰胺酸溶液层的石英浮雕结构件；其中，涂覆的次数不小于3次；完成涂覆后，含有2m个台阶的石英浮雕结构件表面聚酰胺酸溶液层的厚度不小于15微米；步骤3：聚合物溶液的固化成膜：将表面覆盖有聚酰胺酸溶液层的石英浮雕结构件放置在室温、隔绝空气扰动的环境下24h；随后，在氮气保护下升温至350°烘烤1h，得到表面覆盖有聚酰亚胺薄膜的石英浮雕结构件；步骤4：薄膜与基底的分离：将表面覆盖有聚酰亚胺薄膜层的石英浮雕结构件浸泡在乙醇与水的混合溶液中，其中乙醇：水的体积比为1:2，进行聚酰亚胺薄膜与石英浮雕结构件的表面分离，随后，将分离的聚酰亚胺薄膜放在100°以上的温度下烘烤去除聚酰亚胺薄膜表面的水分，得到含有2m个台阶的单块薄膜成像元件，简称为薄膜子镜；步骤5：薄膜的拼接：通过重复步骤2至步骤4三遍以上，将获得的薄膜子镜拼接在一起，得到成品。