[发明专利]一种光学表面污染检测清洁装置有效
| 申请号： | 201610633727.2 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106269593B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 苗二龙;方斌;武东城;彭石军;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00;G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学表面检测技术领域，具体公开一种光学表面污染检测清洁装置。本发明的光学表面污染检测清洁装置包括恒温箱体；恒温箱体内装有洁净水；恒温箱体的一侧连接有喷嘴，恒温箱体的另一侧安装有风扇；风扇用于向恒温箱体内送风，使恒温箱体内保持一定的空气正压。本发明的清洁装置可以让温暖湿润的空气接触到光学表面后在光学表面凝结成雾状微小水珠，一方面使得光学表面的污染部分肉眼可检测，另一方面可通过干净的棉布与形成凝结的洁净水去除表面抛光粉等水溶性污染物，对于高精度光学元件表面的清洁具有更好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光学表面 清洁装置 光学表面污染 恒温箱体 恒温箱 体内 洁净水 风扇 检测 凝结 高精度光学元件 检测技术领域 水溶性污染物 表面抛光 空气接触 微小水珠 喷嘴 成雾状 可检测 棉布 送风 正压 去除 湿润 清洁 温暖 污染 | ||
【主权项】：
1.一种光学表面污染检测清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括恒温箱体；所述恒温箱体内装有洁净水；所述恒温箱体的一侧连接有喷嘴，所述恒温箱体的另一侧安装有风扇；所述风扇用于向所述恒温箱体内送风，使所述恒温箱体内保持空气正压；所述恒温箱体内部的洁净水温度高于所述恒温箱体外部的环境温度10～15℃；所述洁净水的体积为所述恒温箱体的体积的三分之一；当恒温箱体内的湿度较大的空气由于风扇带来的正压从喷嘴处喷出时，遇到温度较低的光学平面，空气温度降低，空气内的湿度发生饱和，在光学表面形成雾状小水滴，不同的光学表面形貌展现出不同凝结结果，通过肉眼观测并区分被检测的光学表面污染部分和清洁部分，进而通过洁净布对光学表面进行针对性清洁。
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