[发明专利]玻璃基板涂布装置有效
申请号: | 201610632570.1 | 申请日: | 2016-08-04 |
公开(公告)号: | CN106186717B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 何田丰;王志;徐毕龙;苏军 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 袁江龙 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种玻璃基板涂布装置,该玻璃基板涂布装置包括涂布机构、涂布载台以及粒子移除机构,涂布载台用于运载玻璃基板经过涂布机构以进行涂布,粒子移除机构设置在涂布载台远离涂布机构的一端,当发现玻璃基板上有粒子时,粒子移除机构将粒子移除。本发明提供的玻璃基板涂布装置可有效地检测玻璃基板上的粒子情况并及时排除,减少人员进入机台内部的频率,避免带入更多粒子;量产过程中,可以减少玻璃基板返工数量,提高产能。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 基板涂布 装置 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板涂布装置,其特征在于,所述玻璃基板涂布装置包括涂布机构、涂布载台以及粒子移除机构,所述涂布载台用于运载玻璃基板经过所述涂布机构以进行涂布,所述粒子移除机构设置在所述涂布载台远离所述涂布机构的一端,当发现所述玻璃基板上有粒子时,所述粒子移除机构将所述粒子移除,所述玻璃基板涂布装置还包括粒子检测机构,所述粒子检测机构设于所述涂布机构的前侧,用于在所述涂布机构对所述玻璃基板进行涂布前检测所述玻璃基板上是否有粒子,所述涂布机构包括门架和横向设置在所述门架上的涂布喷嘴,所述门架包括两个支架和连接在所述两个支架顶部的横板,所述涂布喷嘴贴靠装配在所述横板上,所述支架包括底板、垂直于所述底板的立板以及垂直于所述底板并与所述立板贴靠设置的筋板,所述涂布喷嘴及所述横板的两端与所述筋板装配连接,所述涂布机构还包括药液箱及与所述药液箱连接的压力泵,所述压力泵与所述涂布喷嘴连接,将所述药液箱中的药液泵送给所述涂布喷嘴,所述粒子移除机构包括可伸缩吸管及设置在所述可伸缩吸管上的针孔摄像机,所述可伸缩吸管根据所述粒子检测机构定位的粒子坐标移动至粒子所在位置进行吸除,并通过所述针孔摄像机确认吸除情况,所述粒子移除机构还包括带刻度尺的滑轨,所述可伸缩吸管根据所述带刻度尺的滑轨上的刻度进行预定移位。
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