[发明专利]一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置

摘要

本发明公开了一种气氛可控多器件场效应晶体管(FET)密封测试装置，属于物理测试技术领域。装置分为两个部分：气氛控制单元，包括进气管、出气管、真空表和真空泵；测试单元，包括样品台和电极引出装置，样品台与电极引出装置连接，电极引出装置引出的电极线与数字源表的连接。本装置使用气氛可控，与湿度发生罐、标准气配合能实现不同气氛的调节，与真空泵配合可实现真空气氛，利于质子型FET，气敏FET的性能表征。整个装置可设计为金属环绕，实现法拉第笼的电磁屏蔽功能，利于纳安及以下的精细电流测量。本装置还可实现多个器件同时测量。 1

主权项

1.一种气氛可控场效应晶体管密封测试装置，其特征在于，包括样品承载单元和气氛保持单元，样品承载单元被气氛保持单元环绕，气氛保持单元使整个测试装置处于所需气氛中，样品承载单元包括样品台和电极引出装置，电极引出装置使样品与外部测试仪表构成通路；气氛保持单元的密闭容器包括主罐体、主罐体上部的突出圆筒以及密闭突出圆筒的密封件，密封件分为两部分：密封件a和密封件b，密封件a和密封件b通过管口螺纹和橡胶圈在突出圆筒外侧压紧密封，密封件b分为内件和外件两部分，内件和外件机械连接，内件与进气管路、出气管路和压力表连接并开有电极转接口，内件与突出圆筒顶部焊接在一起，外件上开有电极转接口；样品承载单元包括样品台、连接件以及固定样品台和连接件的固定零件，样品台上的样品电极引出后与连接件上的电缆连接，电缆通过密封件b内件上的电极转接口连接引出并用环氧树脂密封，引出的电极线通过密封件b外件上的电极转接口与数字源表连接。

2.根据权利要求1所述的气氛可控场效应晶体管密封测试装置，其特征在于，所述气氛保持单元包括密闭容器，密闭容器上的进气管路、出气管路、压力表和气体抽吸装置。

3.根据权利要求1所述的气氛可控场效应晶体管密封测试装置，其特征在于，所述气氛保持单元包括密闭容器，密闭容器上的两个进气管、一个出气管、一个真空表和真空泵。

4.根据权利要求1所述的气氛可控场效应晶体管密封测试装置，其特征在于，电极转接口个数是数字源表电极个数的n倍，n为自然数。

5.根据权利要求1所述的气氛可控场效应晶体管密封测试装置，其特征在于，整个装置均为金属环绕。