[发明专利]气浮载台有效
| 申请号： | 201610548069.7 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107462269B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 祁树泰 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气浮载台，至少包括底层以及顶层。底层具有第一开口、多个第一通道以及多个通孔。顶层配置在底层上方，并具有排列成阵列的多个第一气孔以及多个第二气孔。第一开口经由第一通道连通至第一气孔，以构成第一气流路径。通孔对应连通至第二气孔，以构成第二气流路径。气流经由第一气流路径与第二气流路径的其中一个从底层流至顶层外侧，或经由第一气流路径与第二气流路径的另一个从顶层流至底层外侧。本发明的气浮载台适于提供气流承载基板，并使基板维持水平效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮载台 | ||
【主权项】：
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