[发明专利]一种高精度压电陶瓷扫描器

摘要

本发明涉及到电镜技术领域，尤其涉及一种高精度压电陶瓷扫描器。该高精度压电陶瓷扫描器，包括支架、压电陶瓷管本体、外壳、盖子、导线一、导线二、连接器和陶瓷管，所述支架固定在外壳的一端内部。本发明所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。

主权项

一种高精度压电陶瓷扫描器，包括支架（1）、压电陶瓷管本体（2）、外壳（7）、盖子（8）、导线一（11）、导线二（12）、连接器（13）和陶瓷管（19），其特征在于：所述支架（1）固定在外壳（7）的一端内部，所述盖子（8）固定在外壳（7）的另一端上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端固定在外壳（7）内部的支架（1）上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端的另一端设有绝缘套（4），所述绝缘套（4）内设有导电基座（6），所述绝缘套（4）将压电陶瓷管本体（2）和导电基座（6）间隔开，所述导电基座（6）内设有磁钢（5），所述压电陶瓷管本体（2）和外壳（7）之间设有避震环（3），所述压电陶瓷管本体（2）的内部设有陶瓷管（19），所述陶瓷管（19）的外侧面上设有X+导电层（14）、X‑导电层（15）、Y+导电层（16）和Y‑导电层（17）四个导电层，所述陶瓷管（19）的内侧面上设有Z‑导电层（18），所述X+导电层（14）、X‑导电层（15）、Y+导电层（16）和Y‑导电层（17）与连接器（13）之间分别通过导线一（11）相连接，所述Z‑导电层（18）与连接器（13）之间通过导线二（12）相连接，所述导电基座（6）与连接器（13）之间通过导线二（12）相连接，所述支架（1）上设有侧穿孔（9）和中心穿孔（10），所述导线一（11）从侧穿孔（9）内穿过，所述导线二（12）从中心穿孔（10）内穿过。