[发明专利]一种多稳态超声检测传感器

摘要

本发明涉及一种用于超声检测领域的多稳态传感器，包括声阻匹配层、金属电极、压电薄膜、耐高压绝缘层、空腔密封层、背衬层和机电控制电路板，其特征在于所述的超声检测传感器通过机电控制电路在同一个超声换能器单元上实现压电式超声传感和电容式超声传感相互组合的多稳态工作方式，且每个稳态工作方式可按照任意超声频率设计，如按照电容式低频超声传感和压电式高频超声传感进行设计，兼顾超声检测的深度和分辨率。这种多稳态超声检测传感器可灵活应用于气态、液态、固态媒体介质的超声探测，阻抗匹配简单，体积小易于集成，可批量化生产，成本低，在水中声波探测、生物医学成像及工业超声无损检测等领域具有应用前景。

主权项

1.一种多稳态超声检测传感器，包括声阻匹配层、金属电极、压电薄膜、耐高压绝缘层、空腔密封层、背衬层和机电控制电路板，其特征在于传感器在同一个换能器单元上实现压电式和电容式相互组合的多稳态超声传感，每种稳态工作方式按照各自的工作频率发射或接收超声波，利用机电控制电路可实现工作方式切换。