[发明专利]一种自动光学检测聚焦定位方法有效
申请号: | 201610481569.3 | 申请日: | 2016-06-27 |
公开(公告)号: | CN105938107B | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 胡婷平 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法,包括:在玻璃基板下表面设置标准片,所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率;使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片,获得第一焦距,所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距;依据所述第一焦距,调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距;其中,所述第二焦距为第一焦距减去修正值。通过使用本申请中公开的方法,可以避免自动光学检测仪器聚焦到玻璃基板下表面或无法聚焦的情况,从而提高了自动光学检测仪器的工作范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 光学 检测 聚焦 定位 方法 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法,其特征在于,该方法包括:在玻璃基板下表面设置标准片,所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率;使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片,获得第一焦距,所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片的上表面时的焦距;依据所述第一焦距,调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距;其中,所述第二焦距为第一焦距减去修正值;所述标准片的反射率高于0.4;所述修正值为所述玻璃基板的厚度。
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