[发明专利]全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置

摘要

本发明涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本发明使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。

主权项

1.一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，所述工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，所述工艺点压装装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方；所述工艺点上料装置包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方；所述工艺点排布装置包括底座（1）、安装板（2）和振动料盘（3），所述安装板（2）滑动安装在所述底座（1）上，所述安装板（2）通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘（3）分别位于所述移动装置的两侧，所述安装板（2）上开有若干与石墨舟（10）上的工艺孔相对应的盲孔（4），两个所述振动料盘（3）的出料口（5）分别与所述安装板（2）同一端部的两个所述盲孔（4）同轴设置；所述工艺点移送装置包括吸盘（6）、驱动吸盘（6）升降的升降装置和驱动吸盘（6）移动的移动装置，所述吸盘（6）固定安装在所述升降装置上，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上；所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上；所述工艺点压装装置包括导向装置和压点装置，所述导向装置与所述压点装置相对设置。