[发明专利]一种透明光电催化用叉指电极及其加工方法

摘要

本发明提供一种透明光电催化用叉指电极及其加工方法，该叉指电极从下往上依次为：基板、缓冲层和导电层；其中，所述基板由透明材质的材料组成；所述的导电层为金属层。本发明所述透明光电催化用叉指电极具有导电性能好、电信号基线稳定、光电催化效率高、可多次使用的优点。

主权项

1.一种透明光电催化用叉指电极加工方法，其特征在于，所述透明光电催化用叉指电极加工方法包括：S1：选择透明材质的材料作为基板，按照需求将基板裁成相应尺寸；S2：利用磁控溅射的方法，在裁好的基板表面镀上Ti、Mo、W 中的至少两种金属材料，形成缓冲层；S3：电镀金属到所述缓冲层表面形成导电层；S4：将线路图形转移到所述导电层；S5：蚀刻液中蚀刻处理，获得透明光电催化用叉指电极；步骤S2中的磁控溅射方法具体为：溅射的靶材为高纯金属，金属的直径为 25‑45mm、厚度为3‑6mm；靶和基板之间的距离为10‑16cm，工作气体为99. 99wt% 的高纯氮气和99. 99wt% 的高纯氩气，分别使用质量流量计控制；基板在放入真空室之前，分别用丙酮、酒精、去离子水超声清洗，溅射前将真空室气压抽到1×10‑6‑4×10‑6Pa，并充入氩气预溅射12‑17min以清洗靶面；随后通入氮气，控制总溅射气压在1×10‑3‑3×10‑3 Pa，控制氮气与氩气的比例为2:1，溅射功率控制在1Kw‑1.25Kw，溅射时间为0.5‑1.5h。