[发明专利]一种动态调控导模共振滤波器反射光谱带宽大小的方法

摘要

本发明公开了一种动态调控导模共振滤波器反射光谱带宽大小的方法，属于光通信与微机电系统领域。本发明提供的耦合光栅由带二分之一虚设层厚度的、等同的、上下堆叠的双光栅构成，针对TM偏振入射光在布儒斯特角附近，通过控制两光栅间微/纳米级的相对横移改变结构电磁场分布，实现对导模共振滤波器光谱带宽大小的连续调控。在光栅发生横移过程中，两光栅之间的相对横移引起的峰值波长漂移现象不明显，反射光谱带宽大小却变化显著，两光栅发生相对横移时滤波器保持优良的抗反射滤波特性。通过微调入射角，可以补偿因两光栅相对横移导致的反射峰值漂移。

主权项

一种导模共振耦合光栅结构，其特征在于，是由带二分之一虚设层厚度的、等同的、上下两个堆叠的亚波长光栅构成，上下两个堆叠的亚波长光栅采用自支撑结构或者带基底结构；以TM偏振光入射，入射角θi由式(1)确定，光栅深度d由式(2)确定；式(1)中，nc和ns分别为入射媒质和基底的折射率；式(2)中，λ为设计波长；ne如式(4)所示，为亚波长光栅形式双折射现象对应e光的折射率；no如式(3)所示，为亚波长光栅形式双折射现象对应的o光的折射率；式(3)、式(4)中f为光栅填充系数，nH和nL分别为光栅层材料的高、低折射率；θi＝arctan(ns/nc)式(1)，