[发明专利]划片设备有效
| 申请号： | 201610329810.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107151091B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 崔汉铉;郑下震;赵晋完;麴今镐;李峻硕;金范锡 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/10 | 分类号： | C03B33/10 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;李英艳 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的示例性实施例提供一种划片设备，当在基板上形成用于切去基板的前缘的划片线时，该划片设备通过稳定地支撑基板的前缘来防止对基板的损坏，该划片设备可包括：装载台，基板被装载在该装载台上；基板运送单元，其保持被放置于装载台上的基板的后缘并运送该基板；划片单元，其在由基板运送单元运送的基板上形成划片线；以及支撑单元，当基板的前缘进入划片处理区域时该支撑单元支撑基板的前缘，划片单元在基板上在该划片处理区域中形成划片线，并且随后划片线被形成在基板的前缘处。 | ||
| 搜索关键词： | 划片 设备 | ||
【主权项】：
一种划片设备，包括：装载台，基板被装载在该装载台上；基板运送单元，其保持被放置在所述装载台上的所述基板的后缘并运送所述基板；划片单元，其在由所述基板运送单元运送的所述基板上形成划片线；以及支撑单元，当所述基板的前缘进入划片处理区域时，所述支撑单元支撑所述基板的前缘，所述划片单元在所述基板上在所述划片处理区域中形成划片线，从而划片线被形成在所述基板的前缘处。
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