[发明专利]全介质阳光选择车窗玻璃复合膜系连续磁控溅射沉积工艺

摘要

全介质阳光选择车窗玻璃复合膜系连续磁控溅射沉积工艺,在玻璃的表面依次沉积可见光透过均衡膜系、可见光透过增透膜系、紫外光截止滤过膜系、功能连接转换膜系、红外透过选择截止滤过膜系、表面覆盖膜系，所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，薄膜溅射过程正常生产连续高效易控，膜层匹配组合和材料以及生产工艺合理优化，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，耐候性、膜层致密性和稳定性好，可见光透过率高，工艺简单，节能环保，适于光伏玻璃的大面积镀膜生产。

主权项

全介质阳光选择车窗玻璃复合膜系连续磁控溅射沉积工艺,其特征在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过均衡膜系、可见光透过增透膜系、紫外光截止滤过膜系、功能连接转换膜系、红外透过选择截止滤过膜系、表面覆盖膜系，所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，进行磁控溅射镀膜工业化连续生产，在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为1～3m/min，每对阴极上所施加的功率在25～40kw之间变化，施加在靶材上的电流在60～100A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，其中氩气的流量为300sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，所加入的氧气的流量为相应氩气流量的3～10％。