[发明专利]阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺

摘要

阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；薄膜连续溅射沉淀过程精确高效节能，不同膜系匹配和薄膜厚度相互组合，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，耐候性、膜层致密性和稳定性好，可见光透过率高，可见光的视觉舒适度显著提高，工艺简单，节能环保，适于大型平板玻璃镀膜生产。

主权项

阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,其特征在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。