[发明专利]一种多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置有效
| 申请号： | 201610309903.7 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105865525B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱君;徐汶菊;秦柳丽;傅得立;朱勇建;宋树祥 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一金层构成二氧化硅‑金‑玻璃的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构；玻璃层与第二金层、铌酸锂层构成玻璃‑金‑铌酸锂的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构。这种装置能够实现单一芯片的温度和湿度的多功能检测，不仅可以改善传统传感器的精度低、稳定性差、反应时间长的不足，还能利用光学传感器的特点实现如远距离传输传感、复杂温度环境特殊条件下的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 表面等离子共振 介质波导 玻璃层 金层 铌酸锂 金属 传感装置 多层介质 底层二氧化硅 表面等离子 传统传感器 多功能检测 二氧化硅层 光学传感器 远距离传输 玻璃 单一芯片 二氧化硅 温度环境 入射光 顶层 共振 传感 叠接 入射 侧面 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广西师范大学，未经广西师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610309903.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
